品牌: | SNU | 型號: | SIS 2000 | 操作方式: | 自動 |
功能: | 檢測、觀察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
其它型號: | SIS 1200 |
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德國BMT WLIRing 干涉儀 |
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德國BMT WLIRing 干涉儀 該測量系統(tǒng)用于快速準(zhǔn)確測量圓柱形工件的表面形貌,計算粗糙度參數(shù),微型結(jié)構(gòu),及內(nèi)外部表面特征。 特點 l 對內(nèi)外層都可進(jìn)行測量 l 光滑粗糙表面都可進(jìn)行測量 l 測量結(jié)果不受工件的顏色和材料影響 l 數(shù)秒內(nèi)進(jìn)行快速測量 l 用于在線測量的OEM測量頭 l 光源:LED l 垂直分辨率(nm):<1 l 水平分辨率(μm):≥1 l 焦距,大約(mm):1 l 測量區(qū)域的尺寸:由物體決定 l 圖像尺寸(Pixel):1000×1000 移動平臺 l Z軸(mm):10~50 l 步進(jìn)速度(μm/min):1 |
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SJ6000采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、 幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實現(xiàn)快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合,得到不同的干涉信號,然后通過高精度激光 干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù),將數(shù)據(jù)通過計算機(jī)進(jìn)行顯示和動態(tài)分析。
使用時,操作者先按照設(shè)計的幾何光路安裝相配合的鏡組,幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎(chǔ)設(shè)計的,下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖:
邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對應(yīng)的平面鏡反射回來,這兩束光從而能 夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)整干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實現(xiàn),從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點的軌跡,因此,要 分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣,必求出相干光的光程差位置分布函數(shù)。
搭建好幾何光路后,在檢定軟件上設(shè)定測量的開始、結(jié)束位置,點擊“開始”按鈕,軟件界面會實時顯示測量所得動態(tài)數(shù)據(jù);掃描結(jié)束后,操作者可通過對測量所得 數(shù)據(jù)曲線進(jìn)行分析,得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數(shù)。并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的檢測標(biāo)準(zhǔn)對被測件的各項參數(shù)進(jìn)行合格判定,檢測結(jié)束后自動生成檢定 結(jié)果。
二、特點優(yōu)勢 三、技術(shù)參數(shù)1 | 線性測長距離 | 40m |
2 | 線性測長精度 | ±(0.02+0.5L)um |
3 | 激光穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
4 | 分辨率 | 0.001um |
5 | *大測量速度 | 4.0m/S |
6 | 動態(tài)采集頻率 | 50KHZ |
7 | 預(yù)熱時間 | 5~10分鐘 |
8 | 環(huán)境補償精度 | 空氣壓力:±1.0mBar, 空氣濕度:±6%, 材料溫度:±0.1℃ |
9 | 基本重量(含三腳架,包裝) | 15Kg |
實驗內(nèi)容:
1、調(diào)整兩個反射鏡之間的相對位置,使之平行,形成F-P干涉儀。
2、觀察激光在F-P干涉儀中的多光束干涉現(xiàn)象,了解F-P干涉儀的工作原理和理論。
3、改變腔長,測量計算干涉儀的特征參數(shù)。用壓電陶瓷微調(diào)兩個反射鏡的間距,觀察其對透射光波長的掃描特性,了解F-P掃描干涉儀的工作原理。觀察激光器的頻率特性,測量激光器的特征參數(shù)。
光學(xué)精密機(jī)械 >> 干涉儀 >> 曲率半徑測量干涉儀︱干涉儀 | ||||||||||||||||||
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產(chǎn) 品 說 明 | ||||||||||||||||||
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產(chǎn)品 >> 光學(xué)精密機(jī)械 >> 干涉儀 | 共有 18 個產(chǎn)品 | |
產(chǎn)品簡介 |
隨著精密機(jī)械零件的要求在繼續(xù)增加,Agilent 5529A動態(tài)校準(zhǔn)系統(tǒng)能幫助機(jī)床用戶獲得成功。Agilent 5529A為機(jī)床制造商和用戶提供測量機(jī)床定位和精度的基本部件;用經(jīng)補償?shù)臄?shù)據(jù)校準(zhǔn)機(jī)床的定位誤差;診斷幾何形狀問題;以及符合7種國際標(biāo)準(zhǔn)的機(jī)床性能文檔。 您可用Agilent 5529A選擇全套校準(zhǔn)部件,包括激光源、校準(zhǔn)器和材料補償板、材料和空氣傳感器、光纖套件、電纜和附件。您也可選擇3種預(yù)配置系統(tǒng)(不包括光纖)。 Agilent 5529B基本系統(tǒng):包括激光源、校準(zhǔn)器和材料補償板、材料和空氣傳感器、電纜和附件。 Agilent 5529V Vectra系統(tǒng):包括校準(zhǔn)器和材料補償板、HP Vectra PC和super VGA顯示。 Agilent 5529U升級系統(tǒng):包括校準(zhǔn)器和材料補償板、適配器電纜,您能從Agilent 5528A升級到Agilent 5529A。 |
特性: |
l 專利Agilent激光管設(shè)計,性MTBF大于 50,000 小時 l 用戶友好的Windows軟件 l 文檔使用8種語言:英語、法語、德語、意大利語、日語、西班牙語,以及簡體和繁體漢語 l 符合7種國際標(biāo)準(zhǔn): NMTBA, BDI/DGQ 3441, ANSI B5.54, BSI 3800, ESO 230-2, JIS, 和 GB 10931-89 l 在線幫助 如果需要詳細(xì)的資料請發(fā)Email:xie_feng79@163.com |