立式接觸式干涉儀 JDS1
一、儀器用途本儀器是是一種采用量塊或標(biāo)準(zhǔn)零件借以高精度的比較方式的立式精密長度計量儀器。主要用于150mm以下塊規(guī),亦可用作高精密度的長度和外徑的精密測量,是各計量室的基本長度計量儀器之一。立式接觸式干涉儀JDS-1技術(shù)參數(shù):1、被測件大長度:150 mm2、工作臺行程:5 mm3、測桿移動范圍:0.5mm4、分劃板刻度范圍:±50格5、直接測量范圍:5-20μm6、分度值調(diào)整范圍:0.05-0.2 μm7、推薦使用分度值:0.1 μm8、測量壓力:(1.5±0.1) N9、儀器示值穩(wěn)定性:0.02 μm10、儀器誤差:±(0.03+1.5ni △λ/λ)um n 是格數(shù), i是格值,λ是濾光片中心波長,△λ是濾光片波長誤差 11、儀器體積:280×500×700 mm12、儀器重量:40 kg標(biāo)準(zhǔn)配件:1、五筋園臺2、九筋瑪瑙臺3、可調(diào)園平臺4、輔助臺5、平面測帽 Ф26、小球面測帽7、干涉濾光片
SLF-C-1 |
SLF-C-2 |
YBLX-KLT2-1 |
YBLX-KLT2-2 |
YBLX-KLT2-I |
YBLX-KLT2-II |
KHJ0.3/24 |
KHJ0.05/12 |
KHJ0.5/12 |
KHJ1/12L |
KHJ-3/24 |
ZWL2-I-C2 |
ZWL2-II-C2 |
LXB-02GKK |
SFXL-I |
SFXL-II |
SP-2DM |
SP-2DMS |
ZGLS-Z |
配置方式 | |
立式、臥式配置 平面總成,球面總成 靜態(tài)測量,相位移調(diào)制測量 | |
附件 | |
標(biāo)準(zhǔn)平面和球面參照鏡 與ZYGOTM參照鏡相容 標(biāo)準(zhǔn)衰鏡 干涉儀支撐/調(diào)整用四腳座 水平五軸調(diào)整座 | |
IntelliWave TM分析 | |
Windows XP系統(tǒng) 干涉條紋靜態(tài)與相位移調(diào)制分析 完整的分析工具,包括統(tǒng)計資料、像差 繞射分析、影像加工、以及幾何影像轉(zhuǎn)換 干涉圖轉(zhuǎn)換成光學(xué)(OPD)或表面地圖(surface map) 自動反復(fù)測量或自動化分析功能 相互連接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel軟件 1 蜂谷值(PV ,Peak-to-Valley) 是取得長度上,測量高度最高點與最低點間的距離 2 均方根值(RMS,Root-Mean-Square)是取樣長度上,距離高度中心線的均方根偏差值。 3 三平面檢定方(3-Flat Test )最使用三個平面參照鏡相互檢測的測量方式。 4 重復(fù)性(Repeatability)的定義:對相同的組件進行100次量測,而每組量數(shù)據(jù)是由20個數(shù)據(jù)平均后取得,100組測數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析,定義重復(fù)性即是一個標(biāo)準(zhǔn)差值。 | |
型號 | AK-40 Fizeau type |
激光光源 | |
波長/ 功率 | He-Ne ,632.8nm , 0.7mw |
測量光束直徑 | 15英寸(38mm) |
偏振性 | 圓偏振動(Circular Polarization) |
相干長度 | >100公尺 |
控制方式 | |
觀察調(diào)整 | 4On/off 開關(guān) |
變焦 | 旋轉(zhuǎn)度盤 |
對焦調(diào)整 | 旋轉(zhuǎn)鈕 |
光強調(diào)整 | 旋轉(zhuǎn)鈕 |
模式切換 | 手動切換 |
光 學(xué) 部 分 | |
變焦范圍 | 1X—6X |
對準(zhǔn)調(diào)整 | 二點調(diào)整 |
觀察調(diào)整角 | ±1.8度 |
預(yù)熱時間 | < 30分鐘 |
視頻規(guī)格 | |
攝像機 | RS170, 640X480像素 |
顯示器 | 計算機含LCD屏幕或視頻監(jiān)視器 |
電氣部份 | |
電 源 | 110/240 Volts ,50/60Hz (50 watts) |
機械部份 | |
尺寸 | 120*120*250mm |
重量 | 6 kg |
測量性能(應(yīng)用 IntelliWAare TM軟件量結(jié)果) | |
系統(tǒng)準(zhǔn)確度(三平面檢定法)(3) | λ/100 , 峰谷值(1) |
峰谷值重復(fù)性(4)(PV Repeatability) | λ/3 00 , 峰谷值(1) |
均方值重復(fù)性能(2)(4)(RMS Repeatability) | λ/2,000 |
干涉條紋解像度(Fringe Resolution ) | 180條 |
產(chǎn)特點:● 納米深度3D檢測● 高速、無接觸量● 表面形狀、粗糙度分析● 非透明、透明材質(zhì)皆適用● 非電子束、非雷射的安全量測● 低維護成本
的3D圖形處理與分析軟體(Post Topo):● 提供3D圖形處理與分析● 提供自動表面平整化處理功能● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能● 深度、高度分析功能提供線性分析與區(qū)域分析等兩種方式● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(Roughness)與起伏度● (waviness)的測量分析。可提供多達17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)(Wafer)● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計分析● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換(FFT)處理功能● 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解析軟件(ImgScan):● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan處理軟件自動解析白光干涉條紋● 垂直高度可達0.1nm● 高速的分析算法則,讓你不在苦候測量結(jié)果● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺X、Y、Z位置數(shù)字式顯示,使檢測目標(biāo)尋找快速又便利● 具有手動/自動光強度調(diào)整功能以取得佳的干涉條紋對比● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌● 具有自動補點功能● 可自行設(shè)定掃描方向技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號 | AE-100M | ||
移動臺(mm) | 平臺尺寸100*100 ,行程13*13 | ||
物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
觀察與量測范圍(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
光學(xué)分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
工作距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
傳感器分辨率 | 640*480像素 | ||
機臺重量(kg)/載重kg | 20kg/小于1kg | ||
Z軸移動范圍 | 45mm , 手動細調(diào) | ||
Z軸位置數(shù)字顯示器 | 分辨力1μm | ||
傾斜調(diào)整平臺 | 雙軸/手動調(diào)整 | ||
高度測量 | |||
測量范圍 | 100(μm)(400μm ,選配) | ||
量測分辨力 | 0.1nm | ||
重復(fù)精度 | ≤ 0.1% (量測高度:>10μm) | ||
≤10nm(量測高度1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(量測高度:<1μm ) | |||
量測控制 | 自動 | ||
掃描速度(μm/s) | 12(高) | ||
光源 | |||
光源類型 | 儀器用鹵素(冷)光源 | ||
平均使用壽 | 1000小時100W 500小時(150W) | ||
光強度調(diào)整 | 自動/手動 | ||
數(shù)據(jù)處理與顯示用計算機 | |||
中央處理運算屏幕 | 雙核心以上CPU | ||
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕 | 17 " 雙晶屏幕 | ||
操作系統(tǒng) | Windows XP(2) | ||
電源與環(huán)境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
環(huán)境振動 | VC-C等以上 | ||
測量分析軟件 | |||
量測軟件ImgScan | ImgScan測量軟件:具VSI/ PVSI/PSI 測量模式(PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配) | ||
分析軟件PosTopo | ISO 粗燥度/階高分析,快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波,多樣的2D和3D 觀測視角圖,外形/面積/體積分析,圖像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換 報表輸出,程序教導(dǎo)測量等。 |
Talysurf CCI 6000白光干涉儀 隨著科技潮流,非接觸式的量測至今已被廣泛的應(yīng)用在生產(chǎn)及研發(fā)上,而Taylor Hobson經(jīng)多年的研發(fā)于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉儀可堪稱目前世界上精度最高功能最強的白光干涉儀,,其超高解析度的特性(0.1Å),可以運用在量測晶圓 ,微機電及拋光元件等產(chǎn)品的粗糙度 平面度 及膜厚分析等,而非破壞性的特性更可以有效的量測軟性物質(zhì),在邁入奈米紀(jì)元同時相信Talysurf CCI 6000絕對是各大企業(yè)不可少的量測系統(tǒng)。 Talysurf CCI 6000白光干涉儀: &解析度(Z軸) 0.01nm (0.1Å) &測量范圍(Z軸) 100um &測量范圍(X x Y) 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm(依物鏡倍率不同可自由選擇) &1024 x 1024 高解析量測點數(shù) &受測物的反射率 0.3% - 100% (透明物亦可量測) 硬件及軟件 &氣浮式防震系統(tǒng)已隔絕樓板震動‧隔離罩以隔離外在環(huán)境避免影響量測精度 &相容于Windows 2000及 Windows XP 系統(tǒng) CCI干涉儀 Mirau 干涉 白光干涉儀3D分析軟件 &Talymap 3D & 2D 分析軟體。 &可分析項目: 粗度 平面度 波紋 膜厚 體積計算 承壓比值 等等。 &微機電尺寸計算(距離 高度 等計算)‧表面頻譜分析(FFT) MEMS Sensor Optics Diamond Turned& Wafer Step Talysurf CCI 6000白光干涉儀應(yīng)用: &MEMS 微小尺寸計算 &Silicon Wafer 表面粗度 平面度 &非球面鏡表面粗糙度 &硬碟 光碟表面組織形狀 &OLED PDP LCD 膜厚分析計算
PG15激光平面干涉儀 1、工作基于雙光束等厚干涉原理! 2、根據(jù)近代光學(xué)的研究結(jié)果,http://www.tjhuayue.cn 裝生產(chǎn)線 BOSCH電磁閥 粉末包裝機 調(diào)味品包裝機 光兼有波動與微粒兩重特性。光的干涉現(xiàn)象是光的波動性的特性! DS立式接觸式干涉儀 是一種采用量塊或標(biāo)準(zhǔn)零件借以高精度的比較方式的立式精密長度計量儀器。主要用于150mm以下塊規(guī),亦可用作高精密度的長度和外徑的精密測量,是各級計量室的基本長度計量儀器之一! 〖夹g(shù)參數(shù): 1、被測件最大長度:150mm 2、工作臺行程:5mm 3、測桿移動范圍:0.5mm 4、分劃板刻度范圍:±50格 5、直接測量范圍:5-20μm http://www.heima88.com.cn 數(shù)字電橋 數(shù)字示波器 直流電子負載 函數(shù)信號發(fā)生器 含氣飲料生產(chǎn)線 6、分度值調(diào)整范圍:0.05-0.2μm 7、推薦使用分度值:0.1μm 8、測量壓力:(1.5±0.1)N 9、儀器示值穩(wěn)定性:0.02μm http://www.meifukeji.com 粒包裝機 茶葉包裝機 粉劑包裝機 液體包裝機 粉末包裝機 10、儀器誤差:±(0.03+1.5ni△λ/λ)um n是格數(shù),i是格值,λ是濾光片中心波長,△λ是濾光片波長誤差 11、儀器體積:280×500×700mm 12、儀器重量:40kg高壓滅菌器 全自動給袋式包裝機 機床防護罩價格 鉗工平臺 三坐標(biāo)測量平臺 大理石平臺 PE膜收縮機 精密增力電動攪拌器 電鏡兩用電極 栓劑模具 賀德克濾芯 滾齒機 BlueM YPC電磁閥 煤炭檢測設(shè)備 裝載機電子秤
烏式干涉儀測試專用數(shù)顯量儀測力計數(shù)顯量儀測力計產(chǎn)品簡介: 上海實干是專業(yè)的數(shù)顯量儀測力計廠家,本廠家銷售的SGSLC數(shù)顯量儀測力計可用于測微量具(千分尺、測深千分尺)、指示式量具(百分表、千分表、杠桿表、內(nèi)徑表、扭簧表、測微計)及光學(xué)儀器(光學(xué)計、烏式干涉儀)等測力的檢定,具有精度高、使用范圍廣、結(jié)構(gòu)可靠、操作方便等特點,是計量部門不可缺少的測力檢定儀器。
數(shù)顯量儀測力計圖片
序號 NO | 產(chǎn)品型號 (Model) | 量程(N) | 分度值 (N) | 外形尺寸 (mm) | 重量 (KG) |
01 | SGSLC | 0-15 | 0.01 | 230X220X310 | 10 |
烏式干涉儀測試專用數(shù)顯量儀測力計