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EM22EM22 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀

EM22自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測(cè)量原理，針對(duì)納米薄膜厚度測(cè)量領(lǐng)域推出的一款自動(dòng)測(cè)量型教學(xué)儀器。

EM22儀器適用于納米薄膜的厚度測(cè)量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時(shí)測(cè)量。

EM22儀器還可用于同時(shí)測(cè)量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點(diǎn)

經(jīng)典消光法橢偏測(cè)量原理

儀器采用消光法橢偏測(cè)量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測(cè)量基本原理和過程。

方便安全的樣品水平放置方式

采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。

緊湊的一體化結(jié)構(gòu)

集成一體化設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)潔的儀器外形通過USB接口與計(jì)算機(jī)相連，方便使用。

高準(zhǔn)確性的激光光源

采用激光作為探測(cè)光波，測(cè)量波長準(zhǔn)確度高。

豐富實(shí)用的樣品測(cè)量功能

可測(cè)量納米薄膜的膜厚和折射率；塊狀材料的復(fù)折射率、樣品反射率、樣品透過率。

便捷的自動(dòng)化操作

儀器軟件可自動(dòng)完成樣品測(cè)量，并可進(jìn)行方便的測(cè)量數(shù)據(jù)分析、儀器校準(zhǔn)等操作。

安全的用戶使用權(quán)限管理

軟件中設(shè)置了用戶使用權(quán)限（包括：管理員、操作者等模式），便于儀器管理和使用。

可擴(kuò)展的儀器功能

利用本儀器，可通過適當(dāng)擴(kuò)展，完成多項(xiàng)偏振測(cè)量實(shí)驗(yàn)，如馬呂斯定律實(shí)驗(yàn)、旋光測(cè)量實(shí)、旋光等。

應(yīng)用

EM22適合于教學(xué)中單層納米薄膜的薄膜厚度測(cè)量，也可用于測(cè)量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

EM22可測(cè)量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲(chǔ)、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。

技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
儀器型號(hào)	EM22
測(cè)量方式	自動(dòng)測(cè)量
樣品放置方式	水平放置
光源	He-Ne激光器，波長632.8nm
膜厚測(cè)量重復(fù)性^*	0.5nm （對(duì)于Si基底上100nm的SiO₂膜層）
膜厚范圍	透明薄膜：1-4000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān)
折射率范圍	1.3 – 10
探測(cè)光束直徑	Φ2-3mm
入射角度	30°-90°，精度0.05°
偏振器方位角讀數(shù)范圍		偏振器步進(jìn)角	樣品方位調(diào)整	Z軸高度調(diào)節(jié)：16mm 二維俯仰調(diào)節(jié)：±4°
允許樣品尺寸	樣品直徑可達(dá)Φ160mm
配套軟件	* 用戶權(quán)限設(shè)置 * 多種測(cè)量模式選擇 * 多個(gè)測(cè)量項(xiàng)目選擇 * 方便的數(shù)據(jù)分析、計(jì)算、輸入輸出
最大外形尺寸	約400400250mm
儀器重量（凈重）	約20Kg
選配件	* 半導(dǎo)體激光器

注：（1）測(cè)量重復(fù)性：是指對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測(cè)量30次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差。

性能保證

ISO9001國際質(zhì)量體系下的儀器質(zhì)量保證
專業(yè)的橢偏測(cè)量原理課程
專業(yè)的儀器使用培訓(xùn)

該公司產(chǎn)品分類：在線橢偏儀激光橢偏儀光譜橢偏儀

o 儀器測(cè)量精度：在10nm處誤差為±0.5nm； o 光學(xué)中心高度：75㎜； o 允許樣品尺寸直徑：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜； o 外形尺寸：730 x230X 290； o 主機(jī)重量：30kg；測(cè)量范圍：1nm～4000nm； o 測(cè)量最小值：≤1nm； o 鍍膜折射率范圍：1.3 ~ 2.49 o 入射角：40°～90°　　誤差≤0.05°； o 偏振器方位角范圍：0°～180°；儀器測(cè)量精度：在10nm處誤差為±0.5nm；光學(xué)中心高度：75㎜；允許樣品尺寸直徑：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；外形尺寸：730 x230X 290；主機(jī)重量：30kg；偏振器步進(jìn)角：0.0375°/步；本儀器分為光源、接收器、主機(jī)、電子及通訊四部分，外觀參看右圖。1、　光源：采用波長為632.8nm的氦氖激光光源①其特點(diǎn)是：光強(qiáng)大、光譜純、波長穩(wěn)定性好。2、　接收器：采用光電倍增管⑤，把光訊號(hào)變?yōu)殡娪嵦?hào)，經(jīng)放大后輸出至微機(jī)，由微機(jī)選擇出消光位置的角度值。3、　主機(jī)部分：除以上兩項(xiàng)外，還有起偏組件②，樣品臺(tái)③，檢偏組件④。4、電子及通訊部分⑥：采集光強(qiáng)及對(duì)應(yīng)的角度值并傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，再接收由計(jì)算機(jī)發(fā)出的指令逐步靠近消光點(diǎn)。

BXS10-SGC-I橢圓偏振測(cè)厚儀橢圓偏振厚度測(cè)定儀橢圓偏振厚度儀出租

橢圓偏振測(cè)厚儀橢圓偏振厚度分析儀橢圓偏振厚度儀

型號(hào):BXS10-SGC-I

※ 測(cè)量范圍 1nm-300nm

※ 測(cè)量小值 ≤1nm

※ 入射角 30°- 90° 誤差≤0.1°

※ 偏振器方位角讀數(shù)范圍 0°- 180°

※ 度盤刻度每格2度

※ 游標(biāo)小讀數(shù) 0.05°

※ 光學(xué)中心高度 152

※ 工作臺(tái)直徑 ?70

※ 外形尺寸 730*230*290

※ 主機(jī)重量 20kg

該公司產(chǎn)品分類：石油化工分析儀器環(huán)保分析儀器煤質(zhì)分析儀器水源檢測(cè)探測(cè)儀自動(dòng)分析儀器水質(zhì)檢測(cè)儀器光譜系列原子吸收系列色譜系列生化系列熒光系列食品檢測(cè)專用儀激光粒度儀水份儀系列紫外線系列在線檢測(cè)產(chǎn)品硬度計(jì)系列電火花檢測(cè)儀工業(yè)分析儀器多元素分析儀

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