全自動(dòng)影像測(cè)量儀VMA系列,它是影像測(cè)量技術(shù)的高級(jí)階段,具有高度智能化與自動(dòng)化特點(diǎn)。其軟硬件性能讓坐標(biāo)尺寸測(cè)量變得便捷而愜意,擁有基于機(jī)器視覺與過程控制的自動(dòng)學(xué)習(xí)功能,依托數(shù)字化儀器高速而精準(zhǔn)的微米級(jí)走位,可將測(cè)量過程的路徑,對(duì)焦、選點(diǎn)、功能切換、人工修正、燈光匹配等操作過程自學(xué)并記憶。全自動(dòng)影像測(cè)量儀可以輕松學(xué)會(huì)操作員的所有實(shí)操過程,結(jié)合其自動(dòng)對(duì)焦和區(qū)域搜尋、目標(biāo)鎖定、邊緣提取、理匹選點(diǎn)的模糊運(yùn)算實(shí)現(xiàn)人工智能,可自動(dòng)修正由工件差異和走位差別導(dǎo)致的偏移實(shí)現(xiàn)精確選點(diǎn),具有高精度重復(fù)性。從而使操作人員從疲勞的精確目視對(duì)位,頻繁選點(diǎn)、重復(fù)走位、功能切換等單調(diào)操作和日益繁重的待測(cè)任務(wù)中解脫出來,成百倍地提高工件批測(cè)效率,滿足工業(yè)抽檢與大批量檢測(cè)需要。
二、產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域:
本公司產(chǎn)品被廣泛用于液晶面板、導(dǎo)電粒子、PCB板、TP、TFT、手機(jī)配件、精密模具、刀具、齒輪、五金產(chǎn)品、端子、螺絲、彈簧、電子產(chǎn)品、連接器、鐘表、電線、沖壓產(chǎn)品、塑膠產(chǎn)品、汽車配件、醫(yī)療器械、航天航空、高等院校、科研院所等領(lǐng)域。
三、產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn):
1.裝配上下兩個(gè)可調(diào)的光源系統(tǒng),不僅觀測(cè)到工件輪廓,而且對(duì)于不透明的工件的表面形狀也可以測(cè)量。本系統(tǒng)采用41路程控光源,上光源40路,可以根據(jù)不同的產(chǎn)品,不同的角度進(jìn)行調(diào)節(jié),多區(qū)域,多路控制,滿足客戶的最大需求;下光源為平行光路設(shè)計(jì),可調(diào)節(jié)光,亮度。
2.使用冷光源系統(tǒng),可以避免容易變形的工件在測(cè)量中因?yàn)闊岫冃嗡a(chǎn)生的誤差。同時(shí)對(duì)各種顏色的零件對(duì)光的反射吸收后,對(duì)光的需要不同可通過光源的程序調(diào)節(jié)變化實(shí)現(xiàn)最佳效果,對(duì)測(cè)量的精度穩(wěn)定起到保障作用。
3.軟件具備建立多重坐標(biāo)功能,工件可以隨意放置。
4.測(cè)量控制:通過軟件和鼠標(biāo)操作,人性化設(shè)計(jì)。
5.Z向帶光柵尺,通過影像測(cè)高軟件,可實(shí)現(xiàn)平面度、翹曲度等測(cè)量功能。
四、產(chǎn)品規(guī)格參數(shù):
項(xiàng)目 | 主要技術(shù)參數(shù) | ||
儀器型號(hào) | VMA-3020CNC | VMA-4030CNC | VMA-5040CNC |
測(cè)量范圍(mm) | 300*200*200 | 400*300*200 | 500*400*200 |
光學(xué)尺解析度 | 0.001mm | ||
測(cè)量精度 | X.Y Axis:(2.4+L/200)μm | ||
重復(fù)精度 | 3μm | ||
伺服電機(jī) | 200W國產(chǎn)伺服電機(jī) | ||
測(cè)量軟件 | YR-CNC | ||
鏡頭 | 0.75-4.5X高清晰度變焦倍率鏡頭 | ||
CCD | 43萬像素高清晰彩色攝像頭 | ||
放大倍率 | 34~220X | ||
表面光源 | 5環(huán)40區(qū) | ||
輪廓底光 | 5W超大LED平行光路設(shè)計(jì)無極連續(xù)可調(diào)LED光源 | ||
傳動(dòng)方式 | 臺(tái)灣制滾珠絲桿及導(dǎo)軌 | ||
操作方式 | 程序控制+搖桿 | ||
工作限重 | 35KG | ||
機(jī)器重量 | 440KG | 520KG | 600KG |
全自動(dòng)光學(xué)影像測(cè)量儀VMA系列源興非標(biāo)定制五、產(chǎn)品部件介紹:
成像部分
1、本成像部分使用光源加導(dǎo)航變焦鏡頭加雙相機(jī)組成。光源為五環(huán)四十LED表面冷光源,輪廓點(diǎn)光源。
2、四十區(qū)發(fā)光,可以單獨(dú)點(diǎn)亮,也可以任意兩個(gè)或多個(gè)區(qū)組合點(diǎn)亮,并把亮度分成255級(jí)。(備注,標(biāo)配為白色,可選配RGB加白色共四色燈泡來應(yīng)對(duì)特殊產(chǎn)品測(cè)量)。
3、下光源平行光路設(shè)計(jì)貼片式大功率LED燈。也可以255級(jí)調(diào)節(jié)亮。
4、此鏡頭由兩部分組成,一部分為光學(xué)測(cè)量鏡頭,一部分為導(dǎo)航拍攝地圖的鏡頭(此處用于測(cè)量工件過大,不便于定位的情況。可根據(jù)導(dǎo)航鏡頭來找到自己要測(cè)量的點(diǎn))。
工作臺(tái)部分
1、本工作臺(tái)部分由移動(dòng)平臺(tái),線性導(dǎo)軌,滾珠絲桿加上伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng),金屬光柵計(jì)數(shù)尺組成。
2、平臺(tái)是由高強(qiáng)度航空鋁7075材料組成,以防止機(jī)器在運(yùn)行時(shí),移動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)生形變。
3、導(dǎo)軌為臺(tái)灣精密級(jí)線型導(dǎo)軌,以保證儀器的運(yùn)行精度,絲桿為C3級(jí)絲桿,以保證儀器的重復(fù)性。
4、計(jì)數(shù)尺為英國雷尼紹直線光柵,該計(jì)數(shù)尺具有零機(jī)械滯后的優(yōu)異計(jì)量性能。該尺獨(dú)創(chuàng)的光學(xué)濾波系統(tǒng)具有極強(qiáng)的抗污能力。由于計(jì)數(shù)讀數(shù)頭與金屬刻度尺零點(diǎn)無接觸,這樣大大延長了計(jì)數(shù)尺的穩(wěn)定性與壽命。
六、產(chǎn)品軟件YR-CNC功能:
1、測(cè)量功能齊全:能直接測(cè)量12種2D元素(點(diǎn)、線、圓、弧、矩形、槽形、環(huán)形、開曲線、閉曲線、圓柱、圓錐、球、平面)能測(cè)量曲線的周長、面積、直徑等,采用NURBS曲線擬合算法,比其他曲線擬合算法更接近真實(shí)數(shù)據(jù)可以通過影像測(cè)量三維元素。
測(cè)量方法多樣,共有自動(dòng)尋邊,分段自動(dòng)尋邊、鼠標(biāo)屏幕直接取點(diǎn)、十字線取點(diǎn)、臨近采點(diǎn)、對(duì)比、采尖點(diǎn)、輪廓采點(diǎn)、探針點(diǎn)、激光采點(diǎn)燈方法。
2、超強(qiáng)尋邊算法,確保采樣點(diǎn)精確度,及采樣穩(wěn)定。
3、自動(dòng)像素校正,無需頻繁移動(dòng),一鍵可自動(dòng)像素校正。
4、元素構(gòu)造:元素構(gòu)造功能槍法,提供多種方法,平移、旋轉(zhuǎn)、提取、組合、平行、垂直、鏡像、對(duì)稱、相交、相切構(gòu)造元素,元素構(gòu)造使得用戶可以輕松應(yīng)付一些難以測(cè)量的元素,從而提高工作效率。構(gòu)造的過程為選取參與構(gòu)造的元素->選擇結(jié)果元素,簡(jiǎn)單明了。用圖示的方式提供構(gòu)造方式的選擇。
5、報(bào)表功能豐富。
6、超差紅色警示:如果測(cè)量結(jié)果超差,可以顯示哪一個(gè)元素超差,并可以顯示哪一項(xiàng)超差,導(dǎo)出的EXCEL同樣可以提示哪項(xiàng)超差。
7、影像窗口功能豐富:可以顯示視頻放大倍率和比例尺, 可以做簡(jiǎn)單的距離和角度測(cè)量。
8、坐標(biāo)系功能豐富
可根據(jù)實(shí)際情況建立多重坐標(biāo)系,可方便自由切換各坐標(biāo)系下的數(shù)據(jù),能方便實(shí)現(xiàn)直角坐標(biāo)系和極坐標(biāo)系之間的轉(zhuǎn)換,能實(shí)現(xiàn)各種不同坐標(biāo)系的保存與呼出,能顯示不同的坐標(biāo)系模式。
9、坐標(biāo)系功能豐富
程序的編輯與修改非常方便可方便修改程序的光源數(shù)據(jù)、運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)、對(duì)焦數(shù)據(jù)、程序的位置、測(cè)量的高度等數(shù)據(jù),并可用新元素替代舊有元素。
10、豐富的公差功能
提供多種尺寸和形位公差計(jì)算。并可計(jì)算二維和三維公差。例如圓度、圓柱度、直線度、平面度等形狀公差,還有位置度、平行度、垂直度、傾斜度、同心度、跳動(dòng)等公差。
11、自動(dòng)對(duì)焦及影像三維測(cè)量功能
軟件擁有高速高精度影響對(duì)焦功能,高倍下對(duì)焦重復(fù)性可達(dá)3um(標(biāo)準(zhǔn)器表面)可以通過對(duì)焦測(cè)量高度和平面度。
12、運(yùn)動(dòng)控制模式豐富
可通過操縱桿控制、軟件運(yùn)動(dòng)界面控制、移動(dòng)對(duì)話框控制、鼠標(biāo)影像區(qū)拖動(dòng)、鼠標(biāo)圖形區(qū)移到此處、鼠標(biāo)圖像區(qū)移到此處,移到元素中心等方式控制。
13、強(qiáng)大的標(biāo)注功能
提供多種標(biāo)注類型,如距離、角度、X距離、Y距離、半徑、直徑、弧長等標(biāo)注可以在標(biāo)注完成后修改位置可以自動(dòng)標(biāo)注用戶程序運(yùn)行結(jié)束后標(biāo)注依然存在。
14、地圖導(dǎo)航功能、掃描功能及輪廓跟蹤功能
軟件提供強(qiáng)大的導(dǎo)航功能,可以通過指定起點(diǎn)和終點(diǎn)對(duì)整個(gè)地圖進(jìn)行掃描,還可將外部傳感器拍攝的圖片導(dǎo)入進(jìn)行導(dǎo)航掃描功能可以用于逆向功能,可以指定掃描的起點(diǎn)和終點(diǎn),特殊設(shè)計(jì)的算法,可以過濾雜點(diǎn),提高掃描的準(zhǔn)確度和實(shí)用性輪廓跟蹤可以對(duì)開放的或封閉的圖形進(jìn)行輪廓跟蹤,從而得到感興趣的輪廓?蓪(duì)輪廓設(shè)定掃描點(diǎn)數(shù),軟件自動(dòng)計(jì)算掃描間距。
七、儀器維護(hù)與保養(yǎng):
1、儀器應(yīng)放在清潔干燥的室內(nèi)(室溫20℃±5℃,濕度低于60%),避免光學(xué)零件表面污損、金屬零件生銹、塵埃雜物落入運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,影響儀器性能。
2、儀器使用完畢,工作面應(yīng)隨時(shí)擦拭干凈,最好再罩上防塵套。
3、儀器的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌、應(yīng)定期上潤滑油,使機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)順暢,保持良好的使用狀態(tài)。
4、工作臺(tái)玻璃及油漆表面臟了,可以用中性清潔劑與清水擦拭干凈。絕不能用有機(jī)溶劑擦拭油漆表面,否則,會(huì)使油漆表面失去光澤。
5、儀器LED光源使用壽命很長,但當(dāng)有燈泡燒壞時(shí),請(qǐng)通知廠商,由專業(yè)人員為您更換。
6、儀器精密部件,如影像系統(tǒng)、工作臺(tái)、光學(xué)尺以及Z軸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)等均需精密調(diào)校,所有調(diào)節(jié)螺絲與緊固螺絲均已固定,客戶請(qǐng)勿自行拆卸,如有問題請(qǐng)通知廠商解決。
7、軟件已對(duì)工作臺(tái)與光學(xué)尺的誤差進(jìn)行了精確補(bǔ)償,請(qǐng)勿自行更改。否則,會(huì)產(chǎn)生錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果。
8、儀器所有電氣接插件、一般不要拔下,如已拔掉,則必須按標(biāo)記正確插回并擰緊螺絲。不正確的接插、輕則影響儀器功能,重則可能損壞系統(tǒng)。全自動(dòng)光學(xué)影像測(cè)量儀VMA系列源興非標(biāo)定制
MicroLine-300是一款桌上型半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng)。主要技術(shù)參數(shù):◆ 測(cè)量范圍(XYZ):標(biāo)準(zhǔn):200×200×25mm;可選:300x300x25◆ 視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量精度:10nm(100X 鏡頭);Z軸聚焦范圍:25 mm◆ 視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量范圍:0.5um~400um;◆ 視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量重復(fù)性(100x 物鏡): 晶圓上<0.010um(1δ); 掩模板上0.005um(1δ);
◆ 承重:2kg
◆ 標(biāo)配鏡頭10x,可選鏡頭:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :200x200x25 optional : 300X300x25
◆ The field measurement accuracy :10nm (100X lens ) Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range :0.5um~400um;
◆ The field measurement repeatability (100X lens):on wafer < 0 0.010m(1δ);
on mask plate 0.005um(1δ);
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens : standard :10X
optional :5X,20X,50X,100X。
u 大理石底座,高鋼性鑄鋁立柱,保證具有高的穩(wěn)定性及剛性。
u 精密V型導(dǎo)軌和研磨滾珠螺桿,配松 下高性能伺服馬達(dá)全閉環(huán)控制,高穩(wěn)定性、高精度、速度快。
u 美國TEO高分辨率600線彩色攝像機(jī),保證擁有高品質(zhì)的測(cè)量畫面.
u 自動(dòng)變倍鏡頭,改變倍率后不需要重新選取比例尺。
u 可程控三環(huán)八區(qū)LED表面冷光源、直軸輪廓冷光源,使光源對(duì)測(cè)量要求的適性更加強(qiáng)大。
u 精密光學(xué)尺0.0005mm。
u 自主研發(fā)功能強(qiáng)大的全自動(dòng)3D測(cè)量軟件,可全自動(dòng)測(cè)量。
u 可選配英國Renishaw接觸式探頭或日本基恩士激測(cè)頭。
硬件
1) 采用大理石底座,立柱,精密機(jī)械工作臺(tái)面,穩(wěn)定性好,結(jié)構(gòu)剛性強(qiáng);
2) 三層工作臺(tái)結(jié)構(gòu),增強(qiáng)機(jī)械穩(wěn)定性,保證X、Y水平運(yùn)動(dòng)精度;
3) 工作臺(tái)X、Y向垂直度高,保證坐標(biāo)測(cè)量精度,即使工件沒有擺正也可達(dá)到很高的測(cè)量精度;
4) 單軸線性補(bǔ)償精度達(dá)3+L/200,非線性補(bǔ)償達(dá)3+L/250;
5) LED表面光源和輪廓光,滿足各種不同表面的照明要求;
6) 一體式機(jī)臺(tái)支架,使操作更加方便,符合人體工學(xué);
7) 提供12個(gè)月的超長保修期,終身維護(hù),一經(jīng)選用再無后顧之憂。
軟件
ü 軟件有類似EXCEL報(bào)表功能,測(cè)量數(shù)據(jù)可與EXCEL數(shù)據(jù)無縫連接。
ü 根據(jù)報(bào)表數(shù)據(jù)可以直接進(jìn)行SPC數(shù)據(jù)分析,計(jì)算Ca,Cp,Cpk,Max,Min,Range,Avg,Std等關(guān)鍵參數(shù)。
ü 自動(dòng)輸出公差并能給以顏色、聲音、標(biāo)識(shí)報(bào)警,特別的是可進(jìn)行產(chǎn)品實(shí)時(shí)尺寸跟蹤。
ü 在影像測(cè)量行業(yè)次引入了亞像素測(cè)量功能,對(duì)測(cè)量者沒有任何業(yè)要求。相對(duì)同行產(chǎn)品,為使用者節(jié)省至少3/5的測(cè)量
ü
ü 時(shí)間,大的提升了測(cè)量效率。
ü 可做圖元復(fù)制,平移、旋轉(zhuǎn)、鏡像、線段延伸、剪切、兩線相切弧、點(diǎn)圓相切線。
ü 可做垂直,水平、直徑、半徑,角度等標(biāo)注;可測(cè)兩點(diǎn)距離,點(diǎn)到線距離,線到圓距離,兩圓距離,線的中心距離等;
ü 可做形位差測(cè)量,如:平行度,真圓度,直線度等;
ü 可以測(cè)量各種復(fù)雜圖形包括曲線。
ü 強(qiáng)大的拍地圖功能,可實(shí)現(xiàn)虛擬測(cè)量。
標(biāo)準(zhǔn)功能
Ø 可將產(chǎn)品拍成產(chǎn)品照片并以JPG的格式保存于電腦中形成產(chǎn)品圖庫。
Ø 并將保存于電腦中的照片打開并于實(shí)時(shí)的影像同一畫面中進(jìn)行對(duì)比。
Ø 圖形可輸入到AUTOCAD成為工程圖。
Ø AUTOCAD標(biāo)準(zhǔn)工程圖可輸入實(shí)時(shí)影像中,令AUTOCAD工程圖與實(shí)際工件外形重疊進(jìn)行對(duì)比,從而找出工件和工程圖的區(qū)別。
Ø 可輸入先拍照儲(chǔ)存的JPG圖片到實(shí)時(shí)影像中與實(shí)際工件進(jìn)行重疊對(duì)比。
Ø 可以在鳥瞰圖中進(jìn)行標(biāo)注尺寸。
Ø 自定義圓;可按客戶需要自定標(biāo)準(zhǔn)的圓,再以標(biāo)準(zhǔn)的圓和影像中的工件做重疊對(duì)比,從而找到工件與標(biāo)準(zhǔn)圓形之間的誤差。
Ø 自定義線段;可自行定義線段的起點(diǎn)坐標(biāo)、長度、旋轉(zhuǎn)的角度,再與影像中的工件作重疊對(duì)比,從而找到工件與標(biāo)準(zhǔn)圖形之間的誤差。
Ø 自設(shè)客戶坐標(biāo);在實(shí)時(shí)影像中的實(shí)際工件上自行設(shè)定坐標(biāo)原點(diǎn)(0, 0),在畫面上任意點(diǎn)標(biāo)示該點(diǎn)的X、Y坐標(biāo)位置。
Ø 坐標(biāo)標(biāo)注;以自設(shè)的坐標(biāo)原點(diǎn)(0,0)為基準(zhǔn),標(biāo)注畫面上任意一點(diǎn)的坐標(biāo)位置。
Ø 利取R角功能;為目市面上準(zhǔn)確的平面取R角方式。
Ø 測(cè)量;可測(cè)量平面上的任何幾何尺寸(角度、直徑、半徑、點(diǎn)到線的距離、兩圓的偏心、兩點(diǎn)間距等)。
Ø 繪圖;可將實(shí)時(shí)影像中的實(shí)際工件外形進(jìn)行描繪,形成完整的工程圖。