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Nanosystem3D輪廓儀 ,非接觸式3D光學輪廓儀Nanoview1000

產(chǎn)品描述:

Nano View-1000屬于緊湊式機型,但仍具有很高的測試性能。

簡單的操作性和優(yōu)秀的重復性使得它在研發(fā)和分析不良產(chǎn)品方面發(fā)揮著重要作用。

 

產(chǎn)品規(guī)格:

干涉物鏡:單透鏡可選

掃描范圍:0-180um(270um可選)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm

傾斜臺:±3°

Z軸行程:30mm(手動)

工作臺面:50X50mm(手動)

 

應用領域:

Nano View系列為LCD(液晶顯示器)、IC Package(芯片封裝)、Substrate(基板)、Build-up PCB(積層板)、MEMS(微機電系統(tǒng)),Engineering Surfaces(工程表面)等等領域提供納米級別精度的量測。

該公司產(chǎn)品分類: X射線熒光測厚儀 白光干涉測厚儀 輪廓儀 電磁/電渦流測厚儀 掃描電鏡(SEM) 光電直讀光譜儀 渦流探傷儀 超聲波探傷儀 X-Strata920 TranSpec FTM­­­­-Mirco FTM-Lite 便攜式涂鍍層測厚儀 掃描電鏡 XRF元素分析儀 手持式XRF光譜儀 實驗室模擬洗車系統(tǒng) 白光干涉膜厚儀 NVM6000P Nano view 3000

德國NanoFocusNanoFocus μsurf explorer光學輪廓儀(非接觸三維表面測量系統(tǒng)/3D顯微鏡)

 μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術,結合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動,以類似斷層攝影方式,可在短時間(約幾秒)內精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式,不會破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測量,也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測量漸變較大的高度時,跟其他方法相比,可以更精確量測物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢相當明顯。

NanoFocus μsurf explorer機臺功能齊全,結構緊湊,性價比高,并擁有超高光學分辨率和最全面廣泛的三維表面形貌分析能力。

應用

μsurf系列用來測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。

ü 精密部件:檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結構有要求的零部件,比如發(fā)動機汽缸、刀口等;

ü 生命科學:測量stents支架上鍍層厚度等

ü 微電子機械系統(tǒng):微型器件的檢測,醫(yī)藥工程中組織結構的檢測,如基因芯片等

ü 半導體:檢測微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結構設計

ü 太陽能:電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量,制絨后3D形貌表征(單晶金字塔大小、數(shù)量、角度,多晶腐蝕坑形貌、密度),粗糙度分析等

ü 紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測量

 

技術參數(shù)

LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

測量時間:5~10秒

測量原理:非接觸、共聚焦

X/Y方向,平臺移動范圍:50mmX50mm,馬達驅動,分辨率:0.3μm

Z方向測量范圍:250μm,分辨率:2nm

物鏡:10X、20X、50X、100X(可選)

計算機:高性能計算機控制系統(tǒng),功能全面的軟件,有拼接功能,

工作電源:100-240V, 50-60Hz, input<45W

材質:鋼鐵、橡膠、大理石

外型尺寸:710x270x330 mm (HxWxD)

重量:28KG

潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

該公司產(chǎn)品分類: usurf 系列

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