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OMRON AOI 光學(xué)檢測機(jī)

OMRON AOI   光學(xué)檢測機(jī)
 
在線型   基板外觀檢查裝置
為使您的生產(chǎn)線迅速對應(yīng)、形成無停滯的安定生產(chǎn)環(huán)境,檢查裝置的性能是非常關(guān)鍵的。
VT-RNSII擁有輕松設(shè)定最初檢查條件、高精度檢查、不良原因解析等整體性能,使工程改善成為可能,而且能實現(xiàn)生產(chǎn)線的高通過率。
 
蘇州和諧電子技術(shù)有限公司   服務(wù)熱線:
 
硬件構(gòu)成
 
M SIZE
L SIZE
P/Z/S
圖像型號
輸入部分
攝像頭
3CCD攝像頭
照明系列
環(huán)狀LED(R.G.B)
畫像分辨率
10,15,20μm
機(jī)構(gòu)部分
傳送方式
皮帶傳送方式
生產(chǎn)線高度
900±15mm
軌道寬頻跳幀
自動調(diào)整
基板固定方式
外形固定
電源部分
AC100/115V/120V/200V/220V/230V/240V±10%(單相)
氣壓
0.4~0.6Mpa
使用環(huán)境溫度
+10~ +35%
使用環(huán)境濕度
35~80%RH(無結(jié)露)
重量
500kg
850kg
外形尺寸
700(w)×900(D)×1600(H)mm
920(w)×1365(D)×1600(H)mm
該公司產(chǎn)品分類: 電子設(shè)備

RL-100系列光學(xué)隔震平臺

1.產(chǎn)品特點●結(jié)構(gòu)穩(wěn)固可靠;●工作臺面精密磨制、完全去除精加工痕跡、外形光滑精度高;●固體阻尼隔振;●臺面選用優(yōu)質(zhì)鋼材、蜂巢內(nèi)核、鋼性強不變形。

●特殊規(guī)格,特殊材料接收訂制。

2.主要參數(shù)

●.平面度≤0.10mm/m²;●.表面密度紋理,完全去除精加工痕跡、外形光滑精度高,粗糙度≤1.6um; ●.固有頻率3~6HZ,固體阻尼隔振;●.振幅≤5um;●.臺面材料:lCrl3(鐵磁不銹鋼);臺面安裝孔:25mm*25mm陣列,M6螺紋孔。 

3. 調(diào)整和使用●用低纖維軟布擦凈工作臺面,并將標(biāo)準(zhǔn)水平儀輕放工作臺中間部位●調(diào)整調(diào)節(jié)環(huán),校正水平,順時針旋為調(diào)低,逆時針旋調(diào)高,使水平氣泡調(diào)整到中間位置●一只手相對固定調(diào)節(jié)環(huán),另一只手逆時針用力擰緊承壓板,鎖緊相對高度●工作臺面上擱置的任何設(shè)備或工具,都必須小心輕放,盡量不要相對摩擦,以避免損傷工作臺面,降低    使用精度●工作臺面安裝孔,是用于固定設(shè)備的M6螺孔,使用時避免用力過大,影響工作臺精度 

該公司產(chǎn)品分類: 光電科研實驗系列 光電教學(xué)儀器系列 光電子與光通信系列 激光原理技術(shù)實驗系列 信息實驗系列 自動光學(xué)檢測系列 工程光學(xué)實驗系列 激光器系列 光柵光譜儀系列 光學(xué)元件系列 電控位移臺系列 透鏡 光學(xué)平臺

ELAP編碼器 光學(xué)尺

產(chǎn)品描述
elap主要產(chǎn)品有:計數(shù)器、單軸控制器、多軸控制器、編碼器、位移傳感器(電子尺)、磁性傳感器

德國徠卡陰道鏡1800萬像素超高清 婦科光學(xué)顯微鏡

徐州聯(lián)創(chuàng)光電一體陰道鏡廠家,1200萬像素標(biāo)配,1800萬萊卡鏡頭選配。
一、產(chǎn) 品 簡 介
1.工作原理
利用陰道顯微鏡顯微放大成像,再將圖像分光到CCD,然后經(jīng)過計算機(jī)處理在屏幕上顯示高清晰圖像,醫(yī)生可通過雙目鏡直接觀察真切的顯微鏡圖象,同時也可在高分辨顯示器上準(zhǔn)確鑒別極其微小細(xì)節(jié)病灶,結(jié)合圖文處理系統(tǒng)及軟件,醫(yī)生可以方便的對圖片進(jìn)行采集對比分析、病案存儲、打印報告等處理。
2.適用范圍
供婦科外陰、陰道、子宮頸的檢查用。
3.分類與標(biāo)記
3.1分類
按電擊防護(hù)分類屬于Ⅰ類;
屬于不防進(jìn)液的普通設(shè)備;
不能在有與空氣混合的易燃麻醉氣或與氧或氧化亞氮混合的易燃麻醉氣情況下使用的設(shè)備。
3.2標(biāo)記
標(biāo)記由企業(yè)名稱代號、產(chǎn)品類別代號、產(chǎn)品設(shè)計序號三部分組成。標(biāo)記圖如下:
LC - 9200 X
 
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)(A、B、C)
產(chǎn)品系列
公司名稱
 
4.安全標(biāo)準(zhǔn)
4.1設(shè)備的安全要求
全面貫徹GB9706.1-2007《醫(yī)用電氣設(shè)備 第一部分:安全通用要求》,對電擊危險的防護(hù)為I類設(shè)備。環(huán)境試驗符合GB/T14710-2009《醫(yī)用電器環(huán)境要求及試驗方法》中的氣候環(huán)境II組,機(jī)械環(huán)境II組.
 
 
二、產(chǎn)品性能、主要結(jié)構(gòu)組成
2.1產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品由主機(jī)陰道顯微鏡、光源系統(tǒng)、攝像機(jī)、升降式支架組成。
2.2基本參數(shù)
型號
LC-9200A
LC-9200B
LC-9200C
結(jié)構(gòu)
推車式
推車式
推車式
顯示器
液晶顯示器分辨率≥1024×768
打印機(jī)
/
彩色噴墨打印機(jī)≥1200dpi
計算機(jī)
/
CPU Intel系列 core2 Duo,主頻不小于2.5GHz,內(nèi)存不小于2G DDRⅡ800,硬盤(SATA)不小于250G;軟件。
攝像機(jī)
1/3英寸CCD,大于520線,80萬像素,最低照度0.4Lx
陰道顯微鏡
倍率手輪示值:0.4、0.6、1、1.6、2.5、
光學(xué)放大:0.8X至5.0X(即對應(yīng)放大倍率4X至25X)
目鏡:寬視野,10×21mm
物鏡:完整的消差物鏡,標(biāo)準(zhǔn)配備300mm
工作距離:250mm~350mm
觀察筒:雙目45度斜視觀察
筒間距調(diào)節(jié):55mm~75mm
觀察視野范圍:8.8mm~55.0mm
光源系統(tǒng)
鹵素?zé)、光?dǎo)纖維導(dǎo)光束,照度不低于2000Lx
升降式支架
上下升降,左右移動
輸入功率
≤300VA
 
3. 正常工作條件
—— 環(huán)境溫度:+5℃~+40℃;
—— 相對濕度:30%~75%;
—— 大氣壓力:700hPa~1060hPa;
—— 電源:電壓AC220V, 頻率50Hz。
——運行模式:連續(xù)運行。
4.性能要求
4.1攝像機(jī)圖像分辨率≥520TVL;
4.2陰道顯微鏡的性能要求
4.2.1光學(xué)性能
陰道顯微鏡的光學(xué)性能應(yīng)符合表3的要求。
表3光學(xué)性能要求
 
序號
標(biāo) 準(zhǔn)
要求
1
總放大率誤差
±7.5%
2
左右光學(xué)系統(tǒng)之間的放大率差
≤1.5%
3
左右光學(xué)系統(tǒng)
之間的視場應(yīng)一致
在物鏡像平面內(nèi)垂直方向的偏移量(mm)
≤0.2
水平方向的偏移量(mm)
≤0.4
4
左右光學(xué)系統(tǒng)之間的焦距差(mm)
≤1.5×DF
5
在最高放大率視場中心的分辨力不小于(線對/mm)
1800×NA
6
左右視場之間的像傾斜差
≤2°
7
目 鏡
1)左右光學(xué)系統(tǒng)之間出射光瞳高度差(mm)
置視度刻值在0位≤1.5
2)如使用視度,一個視度刻劃的校正誤差(m-1)
零視度指示誤差±0.25
3) 瞳距最小調(diào)整范圍(mm)
55~75
4)視度最小調(diào)整范圍
常用(m-1
﹢5~–5
注1:大物鏡焦距300時,最大放大倍率NA=0.038mm,視場中心分辨率不小于68.4線對/mm。
注2:大物鏡焦距300時,最高放大率DF=2.398mm,左右光學(xué)系統(tǒng)焦距差:≤3.6mm。
注3:大物鏡焦距300時,最低放大倍率DF=8.36mm,左右光學(xué)系統(tǒng)焦距差:≤12.54 mm。
注4:示教鏡NA=0.022mm; 副鏡和主鏡NA相同NA=0.14。
4.2.2成像齊焦性
陰道顯微鏡在最高放大率時調(diào)焦清晰后,改變放大率至最低放大率,不加調(diào)焦,視場中心的分辨力應(yīng)不低于20線對/mm,若最低放大率的分辨力低于該值,則應(yīng)以最低放大率的分辨力為依據(jù)。
4.2.3視場相對允差
陰道顯微鏡左右視場直徑相對允差應(yīng)不大于2.5%。
4.2.4視場中心偏移量
陰道顯微鏡變換放大率后,陰道顯微鏡視場中心的偏移量應(yīng)不大于視場直徑的10%。
4.2.5配套附件的技術(shù)要求:
4.2.5.1目視配套件
目視配套光學(xué)件或影像記錄裝置的視場中心與陰道顯微鏡視場中心應(yīng)重合,其偏移量應(yīng)不大于陰道顯微鏡視場直徑的10%。
4.2.6照明裝置
陰道顯微鏡的照明裝置應(yīng)使視場內(nèi)照明均勻、邊緣整齊,物面光斑中心照度不低于2000Lx,其顯色指數(shù)應(yīng)大于85%。受照面溫升轉(zhuǎn)換為輻照度Ee應(yīng)不超過1000W/m2。
4.2.7清潔度
陰道顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)部應(yīng)清潔,在目鏡視場內(nèi)不應(yīng)有明顯的和影響觀察的麻點、劃痕、氣泡等疵病和附著物存在,從物鏡方向觀察時,不應(yīng)有明顯的光學(xué)零件破邊、油污和附著物。
4.2.8噪聲
陰道顯微鏡工作時的噪聲應(yīng)不大于65dB。
4.2.9 機(jī)架應(yīng)符合下列要求:
4.2.9.1立柱式:當(dāng)其橫臂在最高位置、最大伸展半徑、最大負(fù)荷情況下,在橫臂的轉(zhuǎn)動范圍內(nèi)整機(jī)不應(yīng)自動傾倒。
4.2.9.2陰道顯微鏡的各活動關(guān)節(jié)操作時應(yīng)平穩(wěn)、靈活、定位準(zhǔn)確,鎖緊后牢固可靠,不得有抖動、自動下沉或卡滯現(xiàn)象。
4.2.9.3陰道顯微鏡的腳踏開關(guān)應(yīng)啟動靈活、放置穩(wěn)定、標(biāo)記明確。
4.2.10陰道顯微鏡在工作距離為300mm,陰道顯微鏡的分辨率應(yīng)不低于1500×NA0.9線對/mm。
4.3功能
4.3.1 攝像機(jī)具有白平衡功能;
4.3.2軟件功能(適用于LC-9200B、LC-9200C)
4.3.2.1 創(chuàng)建新病例;修改病人資料;
4.3.2.2圖像采集為手動、腳控兩種;可連續(xù)采集不少于1-99幅;能同屏多幅顯示;
4.3.2.3圖像處理:放大、縮小、焦近、焦遠(yuǎn)鏡頭調(diào)節(jié);四幅顯示、凍結(jié)、偽彩處理、增強濾波、圖像變換:負(fù)像、上下鏡像、左右鏡像;測量長度、周長、面積、角度;標(biāo)注;分布圖;
4.3.2.4圖像對比:可供對比的典型圖譜庫、文字模板
4.3.2.5支持RCI評估分析
4.3.2.6報告:編輯報告、生成報告、打印報告、儲存報告、修改報告、多種報告格式、多種報告模板
4.3.2.7病例查詢、刪除、打印、刻盤備份
4.3.2.8醋酸白試驗/碘試驗計時控制功能
三、禁忌癥、注意事項、警示
3.1禁忌癥
無。
3.2注意事項
請仔細(xì)閱讀本說明書提供的注意事項,以確保您安全地使用攝像系統(tǒng)。
a) 請使用獨立的有保護(hù)接地的三孔~220V/10A電源插座,并確認(rèn)保護(hù)接地端子已可靠連接。請將電源插頭完全地插入電源插座中,不要使用指定電壓以外的電源。切勿用濕手去插拔電源線插頭。
b) 本儀器在使用時,遠(yuǎn)離產(chǎn)生或潛在存在電磁干擾的設(shè)備,如X光機(jī)、微波多功能治療儀等設(shè)備。
c) 可更換的部件和材料必須使用本公司規(guī)定的生產(chǎn)廠家及型號或本公司提供的,如果使用別的部件或材料會降低最低安全度。如攝像機(jī)、信號線。
d) 本儀器不能與多臺設(shè)備互聯(lián)電源使用,避免漏電流疊加產(chǎn)生安全隱患。
e) 本儀器避免與多臺設(shè)備在同一房間使用,最好在獨立的房間使用,以免其它設(shè)備對他有電磁干擾。
f) 儀器應(yīng)在清潔、通風(fēng)的暗室中使用,環(huán)境要求隔熱、防潮、防塵、避免與化學(xué)藥品、有毒氣體、腐蝕性物品接近。
g) 在儀器通電工作時,各種線嚴(yán)禁帶電插拔,所有移動、拆裝均應(yīng)在斷電條件下進(jìn)行。保持各連線連接牢固,避免拉扯、折彎、旋轉(zhuǎn)、扭轉(zhuǎn)。
h) 儀器不用時,應(yīng)用布蓋上并關(guān)閉電源,若需重新開機(jī),必須在間隔3分鐘后才能通電,禁止頻繁開關(guān)機(jī)。
i) 攝像系統(tǒng)與其它醫(yī)用電氣設(shè)備使用時,應(yīng)避免由于共同使用所產(chǎn)生的潛在安全性危害。
3.3警示聲明:公司針對具有光學(xué)陰道鏡維修技術(shù)的用戶,可按要求提供電路圖、元器件清單,以及合格技術(shù)人員修理該儀器所必須的資料。
該公司產(chǎn)品分類: 盆腔炎治療儀 婦科紅光治療儀 腦電地形圖儀 耳鼻喉綜合治療臺 白帶分析儀 經(jīng)顱多普勒血流分析儀 宮腔鏡 乳腺治療儀 利普刀 數(shù)碼陰道鏡 動態(tài)心電 心電工作站 肛腸治療儀 微波治療儀 婦科臭氧治療儀 精子分析儀 血流圖儀 乳腺檢查儀 陰道鏡

uvcut光學(xué)濾光片(配合氙燈、汞燈使用)

 

石英帶通濾光片
全部采用優(yōu)質(zhì)石英硬質(zhì)鍍膜技術(shù)制成,半波帶寬在<15nm
常用規(guī)格為:UVCUT400UVIRCUT420-780,313nmUVB),334nm,350nm,365nmUVA),380nm,405nm,420nm435nm,450nm,475nm500nm,520nm,550nm
濾光片種類包括:截止濾光片、可見帶通濾光片、紫外帶通濾光片、衰減片、帶通濾光片
濾光片詳細(xì)信息可以參考網(wǎng)站濾光片欄目
 
該公司產(chǎn)品分類: 激光拉曼光譜(RAMAN) 儀器專用電源/高壓電源 其它泵 在線反應(yīng)分析系統(tǒng) 其他服務(wù) 工作站及軟件 電化學(xué)工作站、恒電位儀 氫空一體機(jī) 其它通用分析 其他電化學(xué)儀 制冰機(jī)、雪花制冰機(jī) 其它表面測試 其它光學(xué)測量儀 電子/半導(dǎo)體 太陽光模擬器 其它行業(yè)專用 光學(xué)儀器組件 紫外、紫外分光光度計、紫外可見分光光度計、UV 量子效率測試系統(tǒng) 冷水機(jī)、冷卻循環(huán)水機(jī)

A7845-1-CF專業(yè)光學(xué)觀察窗

 光學(xué)應(yīng)用中會涉及到強磁場或?qū)κS啻判赃^度靈敏的現(xiàn)象。MPF標(biāo)準(zhǔn)的熔融石英觀察窗和專業(yè)光學(xué)觀察窗可以滿足這種特殊應(yīng)用。這種觀察窗主要采用316LN不銹鋼,CP鈦和鋁等無磁性材料作為組裝材料。

 

技術(shù)參數(shù):

漏率: <2x10(-10) atm cc/sec He

平行度:UV 等級: <30 Arc MinutesDUV 等級: <10 Arc Seconds

法蘭材料:304/ 316 LN Stn. Stl.

平面度: DUV: l/4 @ 632nm Transmitted Wavefront

表面拋光度:UV等級: 40/20DUV等級: 20/10

熱量范圍: -100˚C to 200˚C

材料: Corning HPFS 7980 Fused Silica

 

應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體處理設(shè)備、材料處理、高溫學(xué)、檢溫學(xué)、熱成像、光譜儀、YAG激光器、分析和測量設(shè)備、準(zhǔn)分子激光器

 

相關(guān)產(chǎn)品:石英玻璃觀察窗,真空觀察窗,藍(lán)寶石觀察窗,多層鍍膜觀察窗,專業(yè)光學(xué)觀察窗

 武漢普斯特科技有限公司從2006年創(chuàng)業(yè)以來, 公司的技術(shù)人員經(jīng)過原廠培訓(xùn)和市場實踐,積累了豐富的專業(yè)知識。目前,公司將原單一的基礎(chǔ)儀器領(lǐng)域逐步向?qū)I(yè)材料物理性能測試、低溫真空獲得及真空測量等領(lǐng)域發(fā)展. 我們是MPF公司、美國安捷倫公司、美國Labtech、英國Wayne Kerr美國Stanford Research Systems授權(quán)的一級總代理商。 主營真空泵,離子真空泵、真空分子泵、真空擴(kuò)散泵、干式真空泵、真空機(jī)械泵、羅茨真空泵等。

 如有您需要了解美國MPF遠(yuǎn)程光學(xué)觀察窗的相關(guān)信息,請撥打免費熱線400-666-8894或是發(fā)送郵件至sales@whpusite.com進(jìn)行咨詢!

該公司產(chǎn)品分類: 真空穿通件 真空觀察窗 離子泵 干泵 分子泵 真空泵 真空系統(tǒng) 真空泵油 氦質(zhì)譜檢漏儀 真空配件

實物光學(xué)儀器儀表計量檢定校準(zhǔn)

 

             

  深圳市華鑫計量儀器有限公司是深圳市政府依法注冊成立,具有獨立的法人地位。是計量儀器、儀表檢測、計量校準(zhǔn)、儀器校準(zhǔn) 計量器具 專業(yè)技術(shù)機(jī)構(gòu)。    華鑫計量校準(zhǔn)實驗室經(jīng)中國合格評定國家委會CNAS,編號:CNAS_L2122(范圍見附表)本著“公正、科學(xué)、、誠信”的質(zhì)量方針。按照ISO17025國際計量準(zhǔn)則要求,因此.所出具的校準(zhǔn)證書和檢測報告獲得與CNAS簽署互認(rèn)多邊協(xié)議國家地區(qū)實驗室。機(jī)構(gòu)其它成員的和報告滿足ISO/IEC71025和ISO9000族的溯源性要求。具有獨立第三方公證地位    承校范圍:    長度實驗室 .溫度實驗室. 力學(xué)實驗室    磁電實驗室 光學(xué)實驗室 無線電實驗室    我們的目標(biāo):客戶滿意。    服務(wù)周期 市內(nèi)3-5個工作日 省內(nèi)4-5工作日 省外5-7個工作日可安排下廠    可安排工程師下廠現(xiàn)場服務(wù)    在周邊客戶安排上門取送儀器服務(wù)(免費)    儀器計量檢測、銷售.維修、體系認(rèn)證 .第三方審核       ——不僅僅是服務(wù)

 

 

地  址:深圳市南山區(qū)西麗鎮(zhèn)上石鼓路聯(lián)系人:伍平(先生)  手機(jī):15817481575

Q Q :345156268         E-mail:wuping5478@163.com

 

該公司產(chǎn)品分類: 時間頻率儀器儀表計量校驗 溫濕度儀器儀表計量校正 無線電儀器儀表計量檢定 電學(xué)儀器儀表計量校正 力學(xué)儀器儀表計量校準(zhǔn) 長度儀器儀表計量校正 珠海儀器儀表計量校驗校準(zhǔn) 惠州儀器儀表計量檢測檢定 東莞儀器儀表計量校準(zhǔn)校正 深圳儀器儀表計量檢測校準(zhǔn)

WGG2-323光學(xué)高溫計

 WGG2型光學(xué)高溫計是非接觸式測量高溫的儀表,當(dāng)被測量的溫度高于熱電偶所能使用的范圍,以及熱電偶不可能裝置或不適宜裝置的場所,用光學(xué)高溫計一般可以滿足這個要求。

它廣泛地用來測量冶鐵、澆鑄、軋鋼、玻璃熔窖、鍛打、熱處理等溫度,是冶金、化工和機(jī)械等工業(yè)生產(chǎn)過程中不可缺少的溫度測量儀表之一。

  

 WGG2型光學(xué)高溫計能在環(huán)境溫度10~50℃,相對濕度不大于85﹪的情況下連續(xù)工作。

物鏡與目標(biāo)之間的距離不小于700毫米。
標(biāo)尺長度不小于90毫米。
凈重約1.8公斤。
產(chǎn)品型號
測量范圍℃ 量程℃ 允許基本誤差℃ 附 注
WGG2-201 700~2000 700~1500 800~<900 ±33 800℃以下僅供參考
900~1500 ±22
1200~2000 ±30  
WGG2-323 1200~3200 1200~2000
±30
±80
 

上海自動化儀表股份有限公司營銷中心---產(chǎn)品咨詢,訂購聯(lián)系電話:021-51871155 / 51871177811    企業(yè)QQ2355608622聯(lián)系人:陳經(jīng)理郵箱:chenzhi@mc-saic.com更多產(chǎn)品信息請點擊www.mc-saic.com 

該公司產(chǎn)品分類: 不銹鋼壓力表 遠(yuǎn)傳壓力表 壓力校驗儀表 壓力表 壓力變送器 雙針壓力表 膜片壓力表 膜盒壓力表 精密壓力表 隔膜壓力表 電接點壓力表 差壓表 氨壓力表 上海自動化儀表四廠 溫度變送器 裝配式熱電偶 裝配式鉑電阻 鎧裝熱電阻 鎧裝鉑電阻 WSS系列雙金屬溫度計

膜厚儀|干膜光學(xué)膜厚儀|捷揚光電

 光譜反射儀是一種功能強大切且非接觸式的薄膜測量方法,膜厚儀器,當(dāng)薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)在測量系統(tǒng)范圍內(nèi)時,系統(tǒng)能又快又輕松的測量。在用來測量薄膜厚度時,有幾種常見的對光譜反射儀的誤解。比如:  1. 它只能測量薄膜厚度,且需要預(yù)先知道光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù));  2. 和橢偏儀相比它的精度較低;  3. 只有一到兩個厚度可同時測量! ∵@些誤解反映了光譜反射儀這種技術(shù)沒有被充分利用。其使用方法和數(shù)據(jù)分析有待進(jìn)一步的深入。  光譜反射儀和橢偏儀都是間接的測量方法,都需要建立一個模型,通過調(diào)整物理參數(shù)(厚度和光學(xué)常數(shù)),使得模型與測量得到的反射率曲線達(dá)到擬合度,以此來反推計算薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)。橢偏儀考慮了光的極化,采用P波和S偏振反射光之間的相位差異,然而光譜反射儀不使用相位差,光學(xué)膜厚儀,非常薄的薄膜對相位差敏感度很高,但薄膜厚度增加相位差敏感度會減少。事實上,橢偏儀在下列情況下較光譜反射儀有明顯優(yōu)勢:  1. 待測薄膜很薄<10納米  2. 在測量非吸收薄膜時,同步測量T、n(K=0)  3. 直接測量n,k值(主要用于未知材料的基片)  但是光譜反射儀在下列情況下具有明顯的優(yōu)勢:  1. 精度要求較高的厚度測量(除很薄的薄膜外)MProbe精度<0.01納米  2. 測量較厚的薄膜(>10微米)。Mprobe精度達(dá)到500微米  3. 更高的測量速度 Mprobe<1毫秒  4. 測量表面粗糙度  這兩種技術(shù)都可以測量復(fù)雜的多層薄膜,計算其厚度和材料的n、k值。  通常人們都使用光譜反射儀,認(rèn)為它適合簡單的厚度測量:一至二層薄膜。下面是一些使用光譜反射儀證明其存在更復(fù)雜的應(yīng)用能力的例子:通常,測量poly-Si多晶硅和SiN(氮化硅)是兩個主要應(yīng)用,導(dǎo)致了橢偏儀和光譜反射儀在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域里有著廣泛的應(yīng)用。以傳統(tǒng)的使用方法,顯然不適合這些應(yīng)用。因此,說明光譜反射儀的應(yīng)用是非常有意義的。事實上如果運用得當(dāng),測量它們非常成功。

現(xiàn)今越來越多的行業(yè)里都需要應(yīng)用膜厚測量儀器,這種儀器的應(yīng)用可以快速地檢測出物件的厚度,從而作出各種判決。當(dāng)然,這其中使用最廣泛的就要數(shù)零件制造商。在膜厚測量儀器里,膜厚儀器,根據(jù)它的工作原理不同,有著不同的分類,而這些分類各自的特點也是不同。

  首先,膜厚儀廠商批發(fā),我們來介紹一種膜厚測量儀,那便是涂層測厚儀。之所以會有這樣的一種分類,膜厚儀,那與零件涂層有關(guān),它主要就是用于測量涂層厚度大小,從而確定涂層是否符合標(biāo)準(zhǔn)。它可以準(zhǔn)確無誤地測量出數(shù)值,而且測量的速度也是其它測厚無法比較。這樣的一種專業(yè)性測量涂層的儀器,應(yīng)用于其它方便便會顯示出它的不足之處。

  接著便是第二種膜厚測量儀,紙張測厚儀。對于4mm以下的紙張,我們無法用普通的尺子或者是測量工具進(jìn)行測量。為了解決這個難題,就出現(xiàn)了紙張測厚儀,它的應(yīng)用目的就是能夠讓極薄的紙張在經(jīng)過它的測量以后得出準(zhǔn)確的數(shù)值,確保紙張的均一性。像這一類的膜厚測量儀,干膜膜厚儀,反而是不能測量4mm以上的物件,若要執(zhí)意測量,其所得出的數(shù)值只會是不準(zhǔn)確。

  最后,便是第三種膜厚測量儀,薄膜測量儀。薄膜測量儀的使用,主要的是針對于薄膜、薄片等一類的物件厚度的測量。它的研究最為深入,在技術(shù)上也是得到了大力支持,在現(xiàn)今的技術(shù)支持下,它可以進(jìn)行數(shù)值的輸出、任意位置置零等高級功能的運行。薄膜測厚儀的使用雖然廣泛,而且技術(shù)也成熟,但要掌握其工作原理,還是有賴于每一個專業(yè)的操作人員。工作原理的掌握,對于工作人員熟練故障出現(xiàn)以及避免故障出現(xiàn)方法有極大的幫助。

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