采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測(cè)量精度高,無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償。
二技術(shù)參數(shù)(本產(chǎn)品按Q/320500HH009-2014進(jìn)行生產(chǎn)、校驗(yàn))
2.1 測(cè)量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
2.2 流量范圍: DN3 100-1000mL/min
DN4 250-2500mL/min
DN6 1000-10000mL/min
DN8 1500-15000mL/min
DN10 2500-25000mL/min
注:(a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言;
(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃,101.325kPa。
2.3 流量測(cè)量準(zhǔn)確度:±1.5%FS
2.4 工作溫度范圍:0-55℃;
2.5 工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa``
2.6 供電電源:24VDC±10%;
2.7 輸出信號(hào):4-20mA,RS485通訊;
2.8 環(huán)境溫度:0-55℃;
2.9 顯示位數(shù):瞬時(shí)流量為三位,累積流量10位。
氣體質(zhì)量流量控制器 型號(hào):BHBL6-S49-300/MT 數(shù) 字 式 | 貨號(hào): |
一、產(chǎn)品主要特點(diǎn):本產(chǎn)品可自動(dòng)測(cè)控氣體質(zhì)量流量。不受溫度和壓力的限制,度高、重復(fù)性好標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸入輸出,可測(cè)控瞬間和累計(jì)流量。適用于各種介質(zhì),可替代同類(lèi)進(jìn)口產(chǎn)品,除此以外,還具有以下特點(diǎn): 1、采用當(dāng)今的40MHz高速主頻、32位ARM系列單片機(jī)做數(shù)字處理控制。數(shù)字化處理的測(cè)量線性、精度,及實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)控制等。響應(yīng)速度做到了2秒。 2、12位精度、采樣速率高達(dá)1MSPS的AD/DA轉(zhuǎn)換。 3、RS232/485串口,Modbus協(xié)議,與上位機(jī)通訊簡(jiǎn)單方便。配合上位機(jī),可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。 4、結(jié)構(gòu)主體采用不銹鋼(316L)材料,氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。5、耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。6、具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定。可任意位置安裝。 7、兼容模擬電氣操作控制及顯示,使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。 二、主要技術(shù)指標(biāo) 表1、硬件性能 項(xiàng)目\型號(hào) S49-300/MT S49-300A/MT 1 流量范圍 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1,2,3,5,10,15,20SLM2 調(diào)節(jié)閥類(lèi)型 電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉(設(shè)定<2% F.S) 4 度 ±1%F.S10SCCM~10SLM規(guī)格,其余規(guī)格≤±2% F.S。精度范圍10%~100% F.S 5 線性 ±0.5~1.5%F.S 6 重復(fù)精度 ±0.2%F.S 7 響應(yīng)時(shí)間 2Sec 8 工作壓差范圍 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa10~30SLM 9 耐壓 3MPa; 10MPa 10 工作環(huán)境溫度(℃) 5~45 11 材料 不銹鋼316L 12 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 Viton®, EPDM, 或其他由用戶(hù)指定 13 漏率 <2×10-9mbar.l/s He 14 接頭 Φ6mm, Φ1/4″Swagelok。1/4″VCR;蚱渌捎脩(hù)指定 15 輸入輸出信號(hào) 模擬0~+5.00V 輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA數(shù)字RS232/RS485串口,Modbus RTU 協(xié)議 16 供電電源 ±15V(±2%)(+15V 50mA, -15V 200mA) 17 外型尺寸(mm) 123×111×28 18 重量(kg) 0.7 | 產(chǎn)品圖片 |
私人定制 該產(chǎn)品為定制產(chǎn)品,中外合作,價(jià)格需電議,廠家直銷(xiāo)仁荷微電子科技有限公司主要從事質(zhì)量流量器的研制、開(kāi)發(fā)、制造、銷(xiāo)售以及質(zhì)量流量器各種配件模具的設(shè)計(jì)、加工等相關(guān)的服務(wù)。產(chǎn)品包括超高質(zhì)量的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測(cè)量?jī)x器、氣體工藝解決方案和全球服務(wù)支持方案。本公司產(chǎn)品氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體、石油、化工、醫(yī)療、電子及微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、各類(lèi)實(shí)驗(yàn)室、研究所、生物醫(yī)藥、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等各類(lèi)高新技術(shù)領(lǐng)域,為客戶(hù)提供各種氣體管道輸送系統(tǒng)的全面服務(wù)。深受廣大客戶(hù)的肯定及認(rèn)同。
我公司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們獨(dú)家技術(shù),具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制作,且已取得了多項(xiàng)技術(shù)專(zhuān)利申請(qǐng) ,氣體質(zhì)量流量控制器每一個(gè)部件我們都以精益求精的質(zhì)量服務(wù)廣大客戶(hù),讓客戶(hù)體驗(yàn)到自動(dòng)化流量控制設(shè)備帶來(lái)的改變,為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級(jí)提供基礎(chǔ)服務(wù)。 致力于為客戶(hù)開(kāi)發(fā)“生產(chǎn)工藝最優(yōu)化和成本化”的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品。并且能夠提供高效優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):本公司自主開(kāi)發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計(jì),是一種先進(jìn)的智能精密質(zhì)量流量測(cè)量?jī)x表?芍苯佑脕(lái)測(cè)量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。 該流量計(jì)即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。對(duì)工況條件也沒(méi)有苛刻的要求。具有抗干擾能力強(qiáng),測(cè)量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對(duì)安裝要求低、對(duì)流體狀態(tài)要求低,壓力損失小等優(yōu)點(diǎn),且易清洗、具備自排空功能;其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平, 每臺(tái)傳感器都由不銹鋼材料制造,變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。我公司生產(chǎn)的產(chǎn)品所使用的技術(shù)全由我們獨(dú)家技術(shù),具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制作,且已取得了多項(xiàng)技術(shù)專(zhuān)利申請(qǐng)MF系列
MF-50/100/200C MF-100/200MMF產(chǎn)品系列特點(diǎn):有很寬的工作壓力范圍,產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體等等);有很寬的流量范圍,產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)0~10sccm,最大流量范圍可達(dá)0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~100%(量程比為50:1)。——耐高壓(最大工作壓力可達(dá)100bar)——響應(yīng)時(shí)間快≤1sec——模擬輸入輸出接口(0-5Vdc或4-20mA可選)——連接尺寸與其他標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量器兼容——尺寸小——連接方便,快拆快擰——交貨周期短——優(yōu)惠的價(jià)格極具性?xún)r(jià)比——準(zhǔn)確率高——穩(wěn)定的流量控制——壓力范圍廣
用途和特點(diǎn)氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如:氧化、CVD、MOCVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。結(jié)構(gòu)
氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器(Sensor),分流器通道和流量放大電路等部件組成;在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上,再加上調(diào)節(jié)閥門(mén)和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。工作原理•流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)。•將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大,放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較,再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén),閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。•分流器決定主通道的流量。•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源,3位半數(shù)字電壓表,設(shè)定電位器,外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。•控制器輸出的流量栓檢測(cè)電壓與流過(guò)通道的質(zhì)量成正比,滿量程(F.S)流量檢測(cè)輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S(程比為50:1)
主要技術(shù)指標(biāo)
編號(hào) 項(xiàng)目 MF-200C MF-200M1 流量規(guī)格(N2) 10sccm~30slpm 2 準(zhǔn)確度 ±1%F.S(Full Scale)3 重復(fù)精度 ±0.25%F.S(Full Scale)4 響應(yīng)時(shí)間 ≤2sec(特別要求時(shí):≤1sec)5 耐壓 ≤90bar6 工作環(huán)境溫度 0℃~50℃7 輸入輸出信號(hào) 0~5V 0~5V or 4~20mA8 供電 +15Vdc or +24Vdc 350mA9 漏率 1×10atm.cc/sec10 使用范圍 2~100%滿量程
品牌:日本山武Yamatake(創(chuàng)立于1906年) 型號(hào):MPC系列 類(lèi)型:氣體質(zhì)量流量控制器 測(cè)量范圍:2ML—20L/MIN 精度等級(jí):1—2%FS以下 適用介質(zhì):空氣/氮?dú)?氧氣/氬氣/CO2模擬信號(hào):0-5V、1-5V工作壓力:0.5(MPa) 工作溫度:-10 到 +60(℃)
盤(pán)裝面板式質(zhì)量流量控制器MPC系列是本公司獨(dú)自開(kāi)發(fā)的超高速響應(yīng)流速傳感器。集MicroFlow傳感器、超小型比例電磁閥、新方式的流路和高度的執(zhí)行器技術(shù)于一體,可安裝在儀表盤(pán)上的質(zhì)量流量控制器。 特點(diǎn): 1:全球面板式安裝氣體流量計(jì);世界最小、最輕的質(zhì)量流量控制器(面板尺寸48*48mm,深73.7MM;最輕300公克) 2:盤(pán)式結(jié)構(gòu),LED數(shù)字顯示,產(chǎn)品面板上有可調(diào)節(jié)各種功能的按鈕,極其容易操作;通訊功能RS-485 3:帶有RS-485通訊,能于其他外部設(shè)備實(shí)現(xiàn)通訊4:采用了感熱式質(zhì)量流量測(cè)量,因此實(shí)現(xiàn)了不受溫度、壓力變動(dòng)影響的精確測(cè)量5:響應(yīng)速度高速1秒以?xún)?nèi),高精度1—2%FS以下的流量控制
詳細(xì)型號(hào)和資料歡迎來(lái)電咨詢(xún)柯勇 13122347382郵箱:keyong0519@163.comQQ:717563143
氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,簡(jiǎn)稱(chēng)MFC)利用溫差量熱法原理,可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。用這種方法測(cè)出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。
本產(chǎn)品采用中華人民共和國(guó)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。
MFC出廠通常用氮?dú)猓∟2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分),SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度---273.15 K(0℃),氣壓—-101325 Pa(760mm Hg)
F.S.(Full Scale):滿量程值
產(chǎn)品特點(diǎn)
本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點(diǎn),安裝方便,無(wú)安裝位置和直管段要求,操作簡(jiǎn)單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用,也可通過(guò)模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器(AD/DA轉(zhuǎn)換器)配合計(jì)算機(jī)使用。
流量規(guī)格(N2標(biāo)定)
0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~1,2,3,5,10,20,30 SLM
注:滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM~30SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。
輸入輸出信號(hào)
0~+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ,輸出電流不大于3mA)
應(yīng)用行業(yè)
化學(xué)工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導(dǎo)體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設(shè)備主要有:真空鍍膜設(shè)備、混氣配氣設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、晶體制備設(shè)備、微電子設(shè)備、微反應(yīng)裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。
質(zhì)保與服務(wù)
我公司承諾對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)保期為叁年。在您收貨后叁年以?xún)?nèi),如果按照說(shuō)明書(shū)要求使用,遵守安全注意事項(xiàng),并且產(chǎn)品沒(méi)有被損毀、改裝或翻新,若有任何故障和問(wèn)題,我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)維修或更換新品。
在保修期外,我們提供終身維修和維護(hù)服務(wù),但適當(dāng)收取維修和維護(hù)的成本費(fèi)。維修和維護(hù)后,維修部分的質(zhì)保期為壹年。
我公司有專(zhuān)業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關(guān)于安裝和使用等各方面的問(wèn)題,并且提供產(chǎn)品的使用培訓(xùn)。
流量規(guī)格(N2標(biāo)定) | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM |
流量規(guī)格(N2標(biāo)定) | 0~1,2,3,5,10,20,30 SLM |
調(diào)節(jié)閥類(lèi)型 | 常閉式 |
量程比 | (2~100)%F.S. 或50:1 |
流量分辨率 | 0.1%F.S. |
準(zhǔn)確度 | ±1%F.S. (≤15SLM) |
準(zhǔn)確度 | ±2%F.S. (>15SLM) |
線性 | ±0.5%F.S. (≤15SLM) |
線性 | ±2%F.S. (>15SLM) |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤2sec |
工作壓差范圍 | 0.1~0.5MPa (≤10SLM) |
工作壓差范圍 | 0.1~0.3MPa (>10SLM) |
最大耐壓 | 3MPa |
工作環(huán)境溫度 | 5~45℃ |
電纜接頭 | DB15pin(針形) |
輸入輸出信號(hào) | 0~+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ,輸出電流不大于3mA) |
供電電源要求 | +15VDC(50mA),-15VDC(200mA) |
對(duì)外單點(diǎn)泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 316,316L,密封填料 |
管道接頭尺寸 | VCR型接頭:1/4” |
管道接頭尺寸 | 雙卡套型接頭:1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm |
外形尺寸 | 長(zhǎng)×寬×高:127×30×100 mm |
凈重量 | 0.88kg |
型號(hào): |
EL-FLOW®系列質(zhì)量流量控制器是一款高科技代表的產(chǎn)品,能測(cè)量控制流量范圍:0..1 mln/min 到 0..1250 ln/min,最大操作壓力達(dá)到400 bar。
Bronkhorst Hi-Tec EL-FLOW®系列儀表性能表現(xiàn):
技術(shù)應(yīng)用:
控制閥被設(shè)計(jì)成模塊化結(jié)構(gòu),可以方便地更換,Kv值為1.5。獲得專(zhuān)利保護(hù)的獨(dú)特結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),能適應(yīng)大流量及高差壓的控制,這是的產(chǎn)品。
應(yīng)用
流量范圍表(空氣)
F-200C | min. 0,02 ... 1 mln/min |
max. 0,2 ... 10 mln/min | |
F-201C | min. 0,2 ... 10 mln/min |
max. 0,3 ... 15 ln/min | |
F-201AC | min. 0,2 ... 10 ln/min |
max. 1,4 ... 70 ln/min | |
F-202AC | min. 0,5 ... 25 ln/min |
max. 5 ... 250 ln/min | |
F-203AC | min. 2 ... 100 ln/min |
max. 25 ... 1250 ln/min | |
F-232M | min. 0,2 ... 10 mln/min |
max. 2 ... 100 ln/min |
被測(cè)氣體分別流經(jīng)兩個(gè)層流區(qū),一路通過(guò)主流量管道,另一路通過(guò)毛細(xì)測(cè)量管。
兩個(gè)管路的設(shè)計(jì)保證流體處于層流狀態(tài),因此兩個(gè)管路流量比是恒定的。
兩個(gè)精密的溫度感應(yīng)繞組在測(cè)量管上被加熱,當(dāng)有流量產(chǎn)生時(shí),被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應(yīng)繞組上。產(chǎn)生溫差和感應(yīng)圈電阻的變化是成比例的。
測(cè)量繞組的電阻值與瞬時(shí)流量成線性比例關(guān)系,采用惠斯頓電橋來(lái)檢測(cè)測(cè)量繞組的電阻變化。
根據(jù)被測(cè)氣體的質(zhì)量流量,輸出0-5VDC或者4-20mA信號(hào)。
經(jīng)過(guò)兩個(gè)層流區(qū)的氣體混合后流過(guò)具體特定孔徑的電磁比例閥,質(zhì)量流量測(cè)量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng),使流量穩(wěn)定在設(shè)定的流量值上。
在一定范圍內(nèi)溫度和壓力的變化不會(huì)影響流速。參數(shù)規(guī)格:
產(chǎn)品名稱(chēng):氣體質(zhì)量流量控制器 精度: 精度%FS
型號(hào) GFC17,37,47 GFC57,67,77
流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%
精度 ±1% ±1.5% ±3%
可選精度%FS
型號(hào) GFC17 GFC37,47,57,67,77
流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%
精度 ±1% ±1% REF DATA with ±1%
校準(zhǔn):標(biāo)況【14.7psia(101.4kpa),70℉(21.1℃)】
重復(fù)性:±0.25%滿里程、
響應(yīng)時(shí)間:在滿里程的25-100%范圍內(nèi),2秒內(nèi)達(dá)到2%精度
溫度系數(shù):0.05%滿里程/℃
壓力系數(shù):0.01%滿里程/psi(0.07bar)
推薦氣體壓力:25psig(1.73bars)
最大氣體壓力:GFC17,37,47最大1000psi(70bars).GFC57,67,77最大500psig(34.5bars)
量程比:40:1
最大壓差:GFC17/37/57/67/77 50psi(3.4bars),GFC47 40psi(2.7bars)
氣體和周?chē)鷾囟龋?2℉-122℉(0℃-50℃),14℉-122℉(-10℃-50℃),干燥氣體
方位靈敏度:水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度;標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置
輸出信號(hào):線性0-5Vdc(3000ohms最小負(fù)載阻抗);線性4-20mA(500ohms最大回路電阻)最大噪聲±20mV
控制信號(hào):遠(yuǎn)程設(shè)定模式:模擬0-5Vdc或4-20mA;NPN兼容清洗/關(guān)閥
連接:GFC17and37:1/4"卡套連接
可選6mm,1/4VCR,3/8或1/8卡套
GFC47:3/8"卡套
GFC57:3/8"卡套
GFC67:1/2"卡套
GFC77:3/4"FNPT.可選:3/4"卡套
泄漏率:氦氣泄漏率1*109sml/s
輸入電源:+12Vdc,800mA;可選+24Vdc,650mA
回路保護(hù):電路板內(nèi)置極性保護(hù),自動(dòng)恢復(fù)電阻保護(hù)電源過(guò)載輸入
顯示:3-1/2數(shù)字LCD,0.5"英寸高字符
CE認(rèn)證:EN55011class1,classB;EN50082-1產(chǎn)品視頻:
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