產品簡介-
微氧分析儀為檢驗高純度制程氣體中的微量含氧，以確保制程氣體的純度，避免管路泄漏破損滲入大氣中的氧氣破壞制程品質，增進制程良率，并依各制程對制程氣體管路含氧量之要求，進行必要之測試設備。
產品特色-
. 使用頂尖氣體感測技術核心燃料電池式微量氧
感測元件，具準確度高及反應速度快，不需特別
保養(yǎng)等特性。
. 適用于氮氣、氫氣、氬氣等還原性氣體中微量氧
的偵測。
. 採用4.3”TFT大螢幕顯示，可同時顯示含氧量、
日期、時間等參數。
. 于全量程范圍內可任意設置警報點上、下限。
. 自動記錄隨時間的氧濃度變化曲線。
. 輸出4~20mA標準信號；標準RS485/RS232（選用）
通訊口，可連結RJ45網路、Bluetooth、MicroSD
及USB與電腦雙向通訊。
產品規(guī)格-
| 描述 | 過程微量氧分析儀 |
| 量程 | 0-1000ppm. （0-10ppm,0-50ppm,0-100ppm,0-500ppm,0-1000ppm） |
| 分辨率 | 0.05ppm |
| 響應時間 | T90<20s 穩(wěn)定時間根據測試環(huán)境 |
| 操作環(huán)境溫度范圍 | 32oF to 104oF （0oC to 40oC） |
| 電壓范圍 | DC16~28V |
| 輸出信號 | 4-20mA/RS485/RJ45/藍牙/ZIGBEE無線物聯網 |
| 氣體流量 | 500ml/min |
| 氣體壓力 | 0.1Mpa |
| 被測氣體溫度范圍 | 32oF to 104oF （0oC to 40oC） |
| 繼電器輸出 | 5A at 110 or 220 VAC 3A at 30 VDC 故障保護 |
| 顯示屏尺寸 | 4.3寸 TFT；160x160x300mm |