secs/gem協(xié)議無塵烘箱,無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;設(shè)備可以使用tcp / ip(使用hsms標(biāo)準(zhǔn),semi e37)或基于rs-232的協(xié)議與支持gem的主機(jī)進(jìn)行通信通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由gem指定的通用secs-ii消息進(jìn)行監(jiān)控和控制。
更新時間:2025-01-11