最新技術(shù)的兆聲和清洗技術(shù)的發(fā)展,對mems和半導(dǎo)體等領(lǐng)域的晶圓和掩模版清洗提供了最新的水平,可以幫助用戶獲得最干凈的晶圓片和掩模版。nano-master提供兆聲單晶圓&掩模清洗(swc)系統(tǒng),用于最先進的無損兆聲清洗。可以適用于易受損的帶圖案或無圖案的基片,包含帶保護膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達(dá)到最優(yōu)化的清洗效果,兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。nano-master的專利技術(shù)確保了聲波能量均勻分布到整個基片表面,通過分布能量的最大化支持最理想的清洗,同時保證在樣片的損傷閾值范圍內(nèi)。
更新時間:2025-01-06