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硅片清洗設(shè)備,全自動(dòng)硅片清洗機(jī)@推薦2023檢測(cè)流程
半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。
更新時(shí)間:
2024-12-27
該公司產(chǎn)品分類(lèi):
上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
共4758條
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