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fiz3d 面型干涉儀 (vict技術(shù) 1測(cè)量0.6米工件 觸摸屏操作)測(cè)量尺寸(圓形-直徑)：102mm；可立式或臥式使用； 測(cè)量精度：pv值31.64 nm或1/20λ rms值 6.328 nm或1/100 λ； 硬件可靠性：平均無故障工作時(shí)間>1000小時(shí) 及 平均連續(xù)無故障工作時(shí)間>12小時(shí)/天；對(duì)準(zhǔn)角度允差：± 3°；光瞳調(diào)焦范圍：≥±1.5米
更新時(shí)間:2025-01-16
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