硅片金屬雜質(zhì)分析系統(tǒng) expert,全自動(dòng)汽車掃描系統(tǒng)與真空二次離子質(zhì)譜法(vpd-icp-ms)結(jié)合,為硅片金屬雜質(zhì)分析提供了高效的解決方案。系統(tǒng)具備多個(gè)型號(hào),包括適用于實(shí)驗(yàn)室和工廠自動(dòng)化的expert_lab、expert_ps和expert_fab。這些系統(tǒng)支持多種掃描模式,如全掃描、徑向掃描和傾斜掃描,可實(shí)現(xiàn)從大容量蝕刻到深度輪廓測(cè)量的全 面分析。
更新時(shí)間:2024-12-24