直拉法晶體生長系統(tǒng)單晶爐sc 24為單晶硅晶體(硅錠)的工業(yè)生產(chǎn)而研發(fā)。該系統(tǒng)的模塊化設(shè)計理念可根據(jù)客戶的需求而進行靈活的調(diào)整。低能耗優(yōu)化設(shè)計的24英寸熱系統(tǒng)(熱場)可以實現(xiàn)160公斤填料(無需加料器),生產(chǎn)直徑 230 毫米 (9英寸) 的晶體。根據(jù)直徑和裝載量的不同,該設(shè)備可拉制的晶體大長度為 2.9 米。拉晶速度大可達(dá)到10毫米/分鐘,晶轉(zhuǎn)和堝轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速高達(dá)35轉(zhuǎn)/分鐘。
更新時間:2024-08-15