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氮氣烘箱,掩膜板烘箱
氮氣烘箱,掩膜板烘箱目的是用加熱蒸發(fā)的方式祛除掩膜版上光阻中多余的溶劑,增強光阻與掩膜版基板之間的粘附力,并使光阻起到固化的作用;同時,涂覆光阻后的掩膜版在曝光顯影后也需要做顯影后烘,目的是祛除掩膜版上多余的水分、殘留溶劑和消除駐波效應(yīng)。
更新時間:2024-12-27
HMDS烘箱用真空泵,HMDS系統(tǒng)無油泵
hmds烘箱用真空泵,hmds系統(tǒng)無油泵為無油、緊湊型、噪音小的高性能真空泵。idp 泵采用單面渦輪設(shè)計,可通過簡單的工具直接執(zhí)行 15 分鐘的維護操作。高泵送速度和緊湊的尺寸使其成為研究,分析儀器和實驗室市場中許多應(yīng)用的理想選擇。
更新時間:2024-12-27
堅膜烘箱 百潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱
堅膜烘箱 百潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面,并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。
更新時間:2024-12-27
氮氣潔凈烘箱  光刻膠無塵烘箱   前烘氮氣烘箱  百級烤箱
氮氣潔凈烘箱 光刻膠無塵烘箱 前烘氮氣烘箱 百級烤箱在勻膠結(jié)束后,使用溫度95°烘5min來提高光刻膠的致密性以及與晶圓的粘附性。
更新時間:2024-12-27

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