ap200/300 系列光刻系統(tǒng)基于 veeco 的可定制 unity 平臺(tái)™構(gòu)建,可提供卓越的覆蓋層、分辨率和側(cè)壁輪廓性能,并可實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化和具有成本效益的制造。這些系統(tǒng)特別適用于銅柱、扇出、硅通孔 (tsv) 和硅中介層應(yīng)用。此外,該平臺(tái)還具有許多特定于應(yīng)用的產(chǎn)品功能,可實(shí)現(xiàn)下一代封裝技術(shù),例如增強(qiáng)的翹曲晶圓處理、雙面對準(zhǔn)和光學(xué)聚焦
更新時(shí)間:2024-08-13